唐武德元年（618年），李渊、李世民父子建立唐朝。唐初实行州、县两级制。境内复置介州（介休郡改），领介休、平遥2县；其余榆次、太谷、祁县、寿阳、乐平、平城、和顺、辽山8县属并州；灵石县属吕州（霍山郡改）；榆社县属韩州。武德三年（620年），境内置太州（治太谷区），领太谷、祁县2县；置辽州（治乐平县），领乐平、辽山、和顺、义兴（武德三年和顺县析置，治今和顺县仪村）4县；置榆州（治榆社县），领榆社、平城、偃武（武德三年榆社县析置，治今榆社魏城村）3县；寿阳县改属受州（武德三年置，治今盂县）；其余县隶属不变。武德六年（623），废太州、榆州，太谷县、祁县仍归并州辖；义兴县并入和顺县，偃武县并入榆社县，榆社、平城2县改属辽州；受州徙治寿阳县，辖寿阳、乐平2县；辽州由乐平徙治辽山县。武德八年（625年），辽州改名箕州，受州迁治赛鱼（今阳泉市赛鱼村），各县隶属不变。从贞观起，唐朝增设道制，逐渐成为道、州（府）、县三级制。贞观元年（627年），废介州，介休、平遥县改属汾州。贞观八年（634年），废受州，寿阳县、乐平县改属并州。贞观十七年（643年），废吕州，灵石县改属汾州。先天元年（712年），箕州改名仪州。至此，各县分属于并、汾、仪3州，统归河东道辖。属并州的有榆次、太谷、祁县、寿阳4县；属汾州的有介休、平遥、灵石3县；属仪州的有辽山、和顺、榆社、平城、乐平5县。开元十一年（723年），并州改为太原府，县属未变。天宝元年（742年），仪州改设乐平郡，乾元元年（758年）复称仪州，中和三年（883年）再改辽州。至此，全境分属太原府和汾、辽2州管辖。其中，辽州辖辽山、和顺、榆社、平城、乐平5县；榆次、太谷、祁县、寿阳属太原府；介休、平遥、灵石县属汾州府。

五代十国时期，全境相继为晋唐、后唐、后晋、后汉、北汉领属。州、县建置基本未变。

北宋太平兴国四年（979年），宋灭北汉，统辖晋中全境。同年，晋阳城毁，并州治所迁至榆次。七年（982年）移治唐明镇（今太原城区）。北宋地方行政区划行路、府（州、军）、县三级制。晋中统归河东路，境内设辽州，领辽山（熙宁七年至元丰七年属平定军）、和顺、榆社、平城4县；其余县属太原府、汾州、平定军。其中，榆次、太谷、祁县、寿阳4县属太原府，灵石、介休、平遥3县属汾州府；乐平县归平定军（太平兴国二年置，治今平定县）。

元代实行省、路、府（州）、县四级制，全境属中书省之太原路、平阳路。其中，榆次、太谷、祁县、寿阳4县属太原路直辖，平遥、介休2县属太原路之汾州管辖；乐平县属太原路之平定州；辽州领辽山、榆社（至元三至六年并入辽山）、和顺、仪城（至元三年并入和顺）4县，归平阳路直辖；灵石、小灵石（元初从灵石县析置，治冷泉关，至元二年省入介休县）县属平阳路之霍州。大德九年（1305年），太原路改冀宁路，平阳路改晋宁路，境内州县隶属不变。

明代行布政使司（省）、府（州）、县三级制。全境属山西布政使司。境内设辽州直隶州和10县。辽州（洪武九年辽山县并入）领榆社、和顺2县；其余县属太原府、汾州府和平阳府。其中，榆次、太谷、祁县、寿阳4县直属太原府，乐平县属太原府之平定州，平遥、介休、灵石县属汾州府。万历四十二年（1614年），灵石县改属平阳府。

清袭明制，仍设省、府（州）、县（散州）三级。全境归山西省属太原府、汾州府和辽州、平定州、霍州3个直隶州。境内置辽州1州和10县。辽州领榆社、和顺2县；其余榆次、太谷、祁县3县属太原府（3县与太原府还领属的徐沟、交城、文水、阳曲、岚县、兴县、岢岚州等共10县，俗称“府十县”）；平遥、介休2县属汾州府（2县与汾州府另外所领的汾阳、孝义、石楼、临县、宁乡、永宁州共8县，俗称“汾八县”）；寿阳、乐平2县属平定州（辽州、平定州所辖4县，俗称“东四处”）；灵石县属霍州。嘉庆元年（1796年），乐平县降为乡，仍属平定州。至此，境内设1州9县。

民国元年（1912年）5月，废府级建置，改州为县。辽州改为辽县，乐平复置县。境内设榆次、太谷、祁县、平遥、介休、灵石、寿阳、乐平、和顺、辽县、榆社11县，直属于山西省管辖。民国二年（1913年），省下设道，由道辖县。境内除灵石县属河东道（治今运城市）外，其余10县皆归冀宁道（治今阳曲县）辖。民国三年（1914年）4月17日，因与江西省乐平县同名，经内务部协议，乐平改名昔阳县。民国十六年（1927年）4月，废除道制，各县直属于省。民国二十六年（1937年）七七事变后，中国国民党与中国共产党联合抗战，结成抗日民族统一战线。八路军挺进山西开辟抗日根据地，并建立革命政权。由此，形成阎锡山领导的山西省政府划分的行政区和中国共产党领导的抗日根据地的行政区两种政权并存的局面。民国30年（1941）8月，晋冀鲁豫边区政府成立，冀太联办撤销，太行区、太岳区为边区政府直辖区。同年9月，边区政府实行新的区划，昔（阳）东、和（顺）东改属边区政府太行区第一专区；原太行区的第一、第二办事处分别改为边区政府太行区第二、第三专区，各专区设督察专员公署，辖区未变。与此同时，晋冀鲁豫边区政府太岳行署正式成立，按边区政府对各专区的统一排列，太岳区下辖第七、第八、第九专区，平遥、介休、灵（石）东县属第九专区。民国31年（1942）9月，为了纪念左权将军，边区政府将辽县改为左权县。同年10月，太岳区辖区调整为第一、第二、第三、第四专区，平遥、介休、灵（石）东及介灵县（1942年5月，介休同蒲铁路以南地区与灵石汾河以东地区合并成立介灵联合县至次年6月）改属太岳区第一专区。民国32年（1943）7月，太行区重新调整行政区划，和（顺）东、昔（阳）东县属第一专区；和（顺）西、昔（阳）西、太谷、榆次（路东）、榆太祁（祁北县与榆太路西县合并）、寿阳（路南）、辽西县和榆（社）北办事处属第二专区；左权、榆社、祁县属第三专区。民国34年（1945）日本投降后，昔阳、和顺、左权3县分隔的建置合并为原制。同年11月20日，太行行署成立，太行区调整为6个专区，各区设专员公署。榆次（路东）、寿阳（路南）、太谷、榆太祁、左权、榆社、昔阳、祁县、和顺县属第二专区 [4]  。民国三十七年（1948年）5月，晋察冀与晋冀鲁豫边区合并为华北区，太行区改归华北区管辖，各县隶属不变。同年7月21日，晋中全境解放，被分隔的寿阳、榆次、太谷、祁县、灵石县陆续恢复为原建置。8月，华北联合行政委员会设立晋中区，成立晋中行政公署（驻榆次县尚村，后迁田村），下设3个专区，置专员公署。境内设置第三专区，专署驻太谷县，辖榆次、太谷、祁县、平遥、介休5县及平遥市（1948年8月至1949年9月设）；寿阳县属第一专区。另外，昔阳、和顺、左权、榆社县仍属太行区第二专区，灵石县属太岳区第一专区。民国三十八年（1949年）年2月，晋中行政公署与太原市政府合并，称太原市政府，原属晋中区第一、第三专区的县相应改属太原市第一、第三专区。同年5月，太行区调整区划，分设5个专区，境内置左权专区，专署驻左权县，辖左权、昔阳、和顺、榆社4县。民国三十八年（1949年）8月，华北人民政府将左权专区与太原市第一、第三专区部分地区合并，设立榆次专区，归山西省管辖。9月6日，山西省人民政府榆次区行政督察专员公署成立，为省政府派出机构，专署暂驻太谷县城。9月24日，专署驻地迁至榆次城内。榆次专区辖榆次、太谷、祁县、平遥、介休、灵石、榆社、左权、和顺、昔阳、寿阳、平定、盂县13县和阳泉工矿区。

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